熱氧化法當前分為三種：熱力燃燒式、間壁式、蓄熱式。三種方法的主要區別在于熱量回收方式。這三種方法均能催化法結合，降低化學反應的反應溫度。熱力燃燒式熱氧化器，一般情況下是指氣體焚燒爐。這種氣體焚燒爐由助燃劑、混合區和燃燒室三部分組成。

變壓吸附分離與凈化技術是利用氣體組分可吸附在固體材料上的特性，在有機廢氣與分離凈化裝置中，氣體的壓力會出現一定的變化，通過這種壓力變化來處理有機廢氣。

含氯廢氣主要來自氯堿廠中氯的生產與使用過程，使用氯作原料的農藥廠、塑料廠、橡膠廠以及濕法冶金廠、凈水廠、紡織廠等工業都會排放氯氣。氯氣是一種化學性質活潑 的氧化劑，常用于水處理的消毒劑和漂白劑。

氧化法對于有毒、有害，而且不需要回收的VOC，熱氧化法是適合的處理技術和方法。氧化法的基本原理：VOC與O2發生氧化反應，生成CO2和H2O。

液體吸收法指的是通過吸收劑與有機廢氣接觸，把有機廢氣中的有害分子轉移到吸收劑中，從而實現分離有機廢氣的目的。這種處理方法是一種典型的物理化學作用過程。

在不同溫度下，有機物質的飽和度不同，冷凝回收法便是利用有機物這一特點來發揮作用，通過降低或提高系統壓力，把處于蒸汽環境中的有機物質通過冷凝方式提取出來。